Langdao Silex baru saja memamerkan prototipe sumber cahaya extreme ultraviolet (EUV) di China International Industry Fair ke-26 di . Sistem bernama FlintNano LPP-OXXO ini memiliki daya output lebih dari 15W dengan tingkat komponen lokal mencapai 90%.
Teknologi laser-produced plasma ini menggunakan laser penggerak 1.000W dengan efisiensi konversi di atas 2%. Sistem ini mampu beroperasi kontinu selama 100 jam dengan stabilitas daya 5%, serta mencapai tingkat kecerahan sumber cahaya hingga 100 W/(mm²·sr).
Pencapaian startup besutan alumni ini sangat krusial bagi kemandirian teknologi chip China. Meski masih di bawah standar komersial yang mencapai 250W, inovasi ini menjadi langkah awal penting dalam pengembangan sumber EUV domestik.